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Siliciumtetrafluorid, SiF4 »  
SILICIUMTETRAFLUORID (SiF4)
Name: Siliciumtetrafluorid
Symbol: SiF4
CAS-Nummer:   7783-61-1
UN Nummer: UN 1859

Siliciumtetrafluorid (SiF4), eine Siliciumverbindung, ist ein farbloses giftiges unbrennbares Gas. Es hat einen stechenden Geruch und ist bei Feuchtigkeit stark rauchend. Siliciumtetrafluorid wird bei Abscheiden von fluoriertem Siliciumoxid, Ionenimplantation und bei Trockenätzen von Halbleitermaterialien eingesetzt.

Zusammensetzung

Silicon tetrafluoride SiF4 % 99,99
Fluorwasserstoff HF vppm 50,0
Stickstoff N2 vppm 3,0
Sauerstoff O2 vppm 1,0
Kohlenstoffdioxid CO2 vppm 1,0
Kohlenstoffoxid CO vppm 0,5
Methan CH4 vppm 10
Arsen As wppm 0,5
Phosphor P wppm 0,5
Boron B wppm 0,5

Gasflaschen Information

Gasflasche
 
Rauminhalt, Ltr. DIN Gewicht, kg Füllmenge, kg
B40 40 DIN 477/6 22 42
B50 50 DIN 477/6 22 50

Angabe zum Transport

Chemisches Zeichen: SiF4
CAS-Nummer: 07783-61-1
Gefahrzettel: 2.3 (poison gas)
UN Nummer: UN 1859
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